電子工業專用設備

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《電子工業專用設備》 關注(): 期刊周期：月刊; 期刊級別：國家級; 國內統一刊號：62-1077/TN; 國際標準刊號：1004-4507; 主辦單位：中國電子科技集團公司第45研究所; 主管單位：中國電子科技集團公司; 上一本期雜志：《電信技術》科技論文期刊推薦; 下一本期雜志：《電信工程技術與標準化》電信論文發表期刊

　　【雜志簡介】

　　《電子工業專用設備》為國內外公開發行的技術性刊物，以報道半導體設備及半導體產業鏈技術與材料為主要方向，以“公布新的科技成就，傳播科技信息，交流學術思想，促進科技成果的商品化、產業化，為建設社會主義精神文明與物質文明服務”為本刊的為刊方針。發揮傳媒優勢，全方位服務于微電子行業的廣大科技工作者。

　　【收錄情況】

　　國家新聞出版總署收錄

　　2001~2002年度標準化規范化部級獎

　　獲2003~2004年度出版質量部級獎

　　【欄目設置】

　　主要欄目：趨勢與展望、專題報道、IC前沿制程、封裝與測試、行業快訊、新技術應用、企業介紹。

　　雜志優秀目錄參考：

　　第八屆(2013年度)中國半導體裝備創新產品和技術介紹

　　堅持市場導向突出助優扶強將科技資金“用到刀刃上” 于燮康

　　半導體的行業挑戰與摩爾定律程建瑞(編譯)，CHENG Jianrui

　　變化中的全球半導體設備市場蔡穎

　　450 mm晶圓CMP設備技術現狀與展望柳濱，周國安，LIU Bin，ZHOU Guoan

　　以技術創新推動晶體硅太陽能電池智慧生產線建設謝建國，趙加寶，XIE Jianguo，ZHAO Jiabao

　　提高晶圓掃描效率的方法研究羅楊，LUO Yang

　　CTA8280集成電路測試系統的研究應用鐘鋒浩，ZHONG Fenghao

　　全自動貼敷PSA設備的研制孫瑞濤，鮑磊，伍昕忠，賀志強，姬麗娟，張鋒，SUN Ruitao，BAO Lei，WU Xinzhong，HE Zhiqiang，JI Lijuan，ZHANG Feng

　　直線電機保護裝置的設計與控制方法劉亞奇，郝術壯，朱偉，孟慶嵩，LIU Yaqi，HAO Shuzhuang，ZHU Wei，MENG Qingsong

　　極大規模集成電路測試開發平臺和全自動測試線全面建成并投入產業化應用北京確安科技股份有限公司，北京 100094

　　精準有道--海德漢攜新型絕對式測量產品重返SEMICON

　　使用壽命提高4倍 Triflex RS機器人管線包用于天窗涂膠機器人生產線

　　通信專業學刊投稿：交通科技項目查新檢索系統的設計

　　摘要：本文以湖北交通科技項目查新檢索系統為例，提出了基于SOA架構的交通科技項目查新檢索系統的設計模型。通過SOA架構技術整合資源和應用系統，建立了統一平臺和門戶，為交通運輸各級科技人員提供信息通告、項目申報、項目評審、成果公開、資源查詢、科技查新、在線交流、培訓學習等功能的一站式服務，提高了科研管理的科學化水平。

　　關鍵詞：通信專業學刊,SOA,交通科技,查新檢索系統,設計,實現

　　1 引言(Introduction)

　　根據交通運輸部印發的《關于科技創新推動交通運輸轉型升級的指導意見》(交科技發[2013]540號)文件精神，到2020年，將在工程建養、運輸服務、安全應急、綠色循環低碳交通和信息化等領域共性關鍵技術研究取得一批國際領先、實用性強的自主創新成果，推動交通運輸轉型升級，行業科技進步貢獻率達到60%。要實現科技創新的發展目標，就必須建立交通科技發展相適應的智力支持系統。

　　電子工業專用設備最新期刊目錄

碳化硅襯底化學機械研磨機理————作者：羅付;蔡長益;潘宏明;詹陽;

摘要：化學機械平坦化（CMP）作為能夠實現局部和全局平坦化的唯一方法，被廣泛應用于碳化硅襯底加工中，其成本在碳化硅襯底加工中占30%～40%^[1]。拋光液作為化學機械平坦化的主要耗材之一，不同拋光液的選取對平坦化的效果不同。為此針對不同磨料的碳化硅襯底拋光液進行對比，對二氧化鈰拋光液機理進行分析，并針對二氧化鈰拋光液耗材搭配進行研究。最后根據二氧化鈰拋光液的特性選用不同硬度的拋光墊...

旋轉批靶離子注入機靶室晶圓傳送系統設計————作者：郭銳利;彭立波;羅才旺;

摘要：為滿足旋轉批靶離子注入機的自動化需求，設計了旋轉批靶離子注入機的靶室晶圓傳送系統，介紹了靶室結構和晶圓傳送流程、片庫腔體、機械手腔體和靶室腔體；分析了3種傳片流程，并進行比較；論述了靶室運動控制系統及硬件和軟件設計思路。最后對靶室晶圓傳送系統進行總結，并展示其研制成功后的應用成果，可交付給芯片廠進行批量生產

碳化硅減薄后的清洗工藝研究————作者：孫莉莉;袁曉春;李遠航;

摘要：介紹了碳化硅減薄后清洗的工藝過程和原理，主要研究了碳化硅清洗過程中清洗方法、清洗時間、清洗氣壓對清洗效果的影響。提出改善清洗效果的工藝措施，為提高碳化硅加工過程中的清洗效率提供指導

半導體自動涂膠顯影技術及設備研究————作者：黃華佑;楊丹;李運泉;

摘要：隨著集成電路的特征尺寸不斷縮小和晶圓尺寸的不斷增大，半導體自動涂膠顯影設備（Track）的技術水平顯著影響整個集成電路制造過程的精度和效率。介紹了半導體自動涂膠顯影設備的工藝技術及流程，對其關鍵部件及功能進行了分析，并就涂膠均勻性與精度控制、設備溫度控制和自動化控制等關鍵技術進行了探討

國產HPC與AI芯片制造裝備技術現狀與發展策略分析————作者：高岳;郭春華;米雪;劉容嘉;

摘要：回顧了國產高性能計算(HPC)與人工智能(AI)芯片制造裝備的發展歷程，總結了目前的技術現狀與面臨的挑戰。分析了國內外高性能計算與人工智能芯片制造裝備的發展趨勢和技術特點，并提出了針對國產裝備發展的具體策略與建議，以期推動我國在這一領域的自主創新能力和發展水平

運動臺平衡質量氣浮導軌設計及制造工藝研究————作者：趙寶君;田世偉;趙宏亮;李建輝;范少峰;李超;

摘要：運動臺平衡質量氣浮導軌主要用于運動導向氣浮面和平衡質量配重，具有質量大、精度高的特點，加工難度較大；其性能直接影響運動臺的運動性能，利用有限元軟件ANSYS對氣浮導軌進行靜力學仿真分析，對氣浮導軌的優化設計和加工制造提供理論依據

汽車電子系統中傳感器誤差補償與精度提升技術————作者：辛欣;馬天舒;葉熠琳;

摘要：針對傳感器在實際應用中存在的溫度漂移、非線性誤差和環境干擾等問題，研究了基于最小二乘法和卡爾曼濾波的自適應補償算法。通過建立溫度-誤差模型和多源數據融合技術，實現傳感器信號的實時校正。該補償方法在電機轉速加速度變化較大的工況下依然保持穩定，顯著提升了傳感器測量精度。通過建立分程計量方法和多源數據融合技術，實現傳感器信號的實時校正。該補償方法能有效應對電機轉速加速度變化較大等復雜工況，顯著提升了傳感...

基于半導體硅片加工的金剛線切片機技術研究————作者：劉秀坤;

摘要：論述了半導體硅片加工機床的現狀與發展趨勢，研究了金剛線切割半導體的必要性。通過金剛線切割硅片的原理以及切割技術參數，分析了金剛線切片機的關鍵技術和難點技術，設計出了適用于半導體硅片加工的金剛線切片機。實踐證明，采用金剛線切片機加工半導體硅片滿足精度需要，提高了加工效率，降低了使用成本

基于Ansys CFX的激光剝膜設備工藝腔室進氣優化仿真分析————作者：曹國斌;王貴森;

摘要：基于Ansys CFX模擬激光剝膜設備工藝腔室內氣體分布和穩定后腔室內氮氣濃度的情況，經過CFX仿真分析得出：在前上方2個進口、后側方2個出口固定情況下，對比分析增設勻流板前后流體分布，仿真明確在入口附近增設勻流板效果較好，改進后腔體內氣體流動區域較大，且穩定后腔體內氮氣濃度更高，最高點氮氣濃度是未改善前設計濃度的2.39倍

基于倍福PLC的MOCVD設備控制系統設計研究————作者：熊崢;李明;周立平;葉肖杰;

摘要：為實現MOCVD設備的穩定運行與控制，通過分析MOCVD設備的子系統組成、PLC硬件網絡及控制系統，結合系統的安全性設計，研究了一套基于倍福PLC的MOCVD設備控制系統。通過實際運行，該套電氣控制系統電氣強弱分離，整體結構層次感強，易于維護，運行穩定可靠，安全等級高，可滿足半導體工業生產要求

潔凈厭氧烘箱的鎖緊機構改造及溫度均勻度優化————作者：蘇杭;陳磊;熊偉尉;白楊;施國政;

摘要：介紹了潔凈厭氧烘箱的運行原理，以及腔體溫度分布的測量方法，并應用該方法對烘箱進行熱分布實驗測試。對影響腔體溫度分布的因素展開研究，并通過對設備鎖緊機構的升級改造，改善烘箱腔門密封性，實現了對腔體溫度均勻度、上下偏差值等關鍵工藝參數的優化，提升了設備的工藝能力及產能

基于CODESYS平臺的免輸入刷卡登錄權限系統設計————作者：李永明;范新麗;李云峰;

摘要：隨著PLC技術迅猛發展，高級編程語言在PLC中的應用也日益廣泛，CODESYS平臺作為其中一款PLC編程軟件，支持面向對象的編程特點，逐漸成為連接電子、工控和IT行業的重要紐帶，極大地推動著工控自動化領域的發展�；贑ODESYS平臺，在HMI人機交互界面實現無輸入刷卡登錄權限系統設計，滿足工控領域安全權限管理需求，方便人工操作，提升交互體驗和安全管理

自動化設備Ether CAT總線掉線原因分析和解決方案研究————作者：范新麗;李云峰;

摘要：在現代工業自動化技術中，EtherCAT總線技術以實時性高和傳輸速度快的優勢在自動化設備中得到了廣泛應用。然而，在實際應用中，EtherCAT總線掉線問題時有發生，成為影響自動化設備穩定性和可靠性的重要因素。通過分析EtherCAT總線掉線的原因，提出有效的解決方案，以提高自動化系統的穩定性和可靠性

基于WCF通信技術的服務平臺設計與實現————作者：馬春華;姚昕明;胡希雅;

摘要：針對傳統單體軟件系統模塊耦合度高、協作困難，接口規范差異性大、業務功能擴展難度大等問題，基于WCF通信技術，以SOA體系結構為基礎，規范服務接口定義，構建統一的服務管理機制執行服務部署、啟動、停止、卸載、服務狀態變更通知等操作，設計并實現了WCF服務管理平臺，將單體應用細化為可互相協作、配合的一組服務，每個服務獨立運行，大大降低了模塊間的耦合度，提供完善的服務管理功能以及統一的服務調用形式，協作成...

微米級Ag/Cu/Ni球形顆粒對Sn₄₂Bi₅₈焊料性能的影響————作者：萬莉;

摘要：研究了微米級銀粉、鎳粉和銅粉對Sn₄₂Bi₅₈無鉛焊錫膏的焊接性能影響。在實驗過程中通過機械攪拌的方式添加金屬粉末，明顯改善Sn-Bi合金焊接頭的焊接能力和力學性能。并對其組織與性能進行了研究，為低溫無鉛焊料的推廣和產業化奠定了材料基礎

儀器儀表在交直流系統故障診斷中的關鍵技術與方法————作者：牛國忠;賈婧楠;

摘要：隨著交直流系統在能源傳輸和分配領域的廣泛應用，系統故障診斷的準確性和效率變得至關重要。聚焦于交直流系統故障的類型和特點，對先進的儀器儀表和相關技術進行了深入分析和研究；研究發現，這些儀器儀表和方法不僅能提高診斷的準確率，還能縮短故障檢測的時間，為系統的穩定運行和維護提供了強有力的技術支持

EFEM通訊接口與系統設計————作者：吳限;林伯奇;萬勝強;巴賽;

摘要：為了實現對外延設備EFEM(Equipment Front End Module)模塊的控制，闡述了一種基于Modbus通信協議的自動化控制系統。主要討論了系統的硬件組成，并詳細分析了Modbus RTU協議工作方式，同時，在軟件層面上說明了接口控制的協議指令定義規則與常規運行流程

離子束表面加工設備控制系統研究與設計————作者：范江華;黃一峻;周立平;周波;劉慶浩;胡坤;

摘要：通過研究離子束表面加工設備的功能要求和工藝流程，設計了一套具備全自動真空、控溫、傳片、鍍膜、刻蝕等功能的控制系統，并詳細闡述控制系統各模塊的功能及設計實現。經過產線流片驗證，該控制系統運行穩定，滿足離子束加工設備鍍膜與刻蝕等工藝控制需求

基于無線傳感器網絡的海上石油生產平臺監測儀器儀表系統研究————作者：李宇;

摘要：隨著海洋石油資源開發的深入，海上石油生產平臺的運行安全與效率成為行業關注的焦點。探索了一種創新的監測解決方案——基于無線傳感器網絡（WSN）的儀器儀表系統，旨在為海上作業環境提供一個高精度、低能耗且穩定的監測平臺。該系統通過精心設計的網絡層次、自適應路由算法以及數據處理技術，有效提升了數據采集與傳輸的效率。通過加密技術與故障自愈機制，確保了數據的安全與系統的可靠性。通過一具體海上平臺的案例分析，展...

交換版機械手用柔性吸附裝置的力學特性及吸附效果分析————作者：劉穎;關宏武;趙東雷;林繼柱;

摘要：吸附裝置作為交換版機械手重要的組成部分，對掩模傳輸過程中物料的可靠性、安全性和掩模版的變形起關鍵性作用。通過綜合考慮吸附裝置的吸附性能、密封性能及對掩模版變形的影響，設計了一種新型柔性吸附裝置，通過有限元仿真分析柔性吸附裝置對掩模版變形的影響，搭建試驗平臺，對柔性吸附裝置的吸附性能和密封性能進行試驗。結果表明，掩模版最大變形為0.85μm，吸附力為52.39 N，掩模版掉落時間為188 s，壓降為...

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