【雜志簡介】

　　《真空》雜志是中國真空界主要雜志之一。自1994年真空雜志轉換經營機制以來，由我國真空企業界實力雄厚的廠家與雜志社聯辦成立董事會，并由真空學術界著名學者組成編委會。社會效益與經濟效益與日俱增，在國內真空界享有盛譽。自1989年公開發行以來，被美國、英國、德國、日本、意大利、韓國以及港澳地區越來越多的海外學者所關注。

　　真空雜志系國家級刊物，首批列入我國“中文核心期刊要目總覽”中工業技術類核心期刊，在此類30種期中排列第八名。同時列為“中國科技論文統計與分析”首批統計刊源。近年又首批入編“中國學術期刊光盤版”。由于本刊特色。30多年來在我國真空界享有盛名，頗受廣大讀者歡迎。為我國真空業界首選技術刊物。發行全國24個省市、自治區，并與境內外多種刊物交換收存。

　　【收錄情況】

　　國家新聞出版總署收錄　獲獎情況

　　工程技術類核心期刊

　　中國期刊網、光盤國家工程中心用刊

　　國外數據庫收錄

　　美國化學文摘

　　【欄目設置】

　　主要欄目：學術論文、新產品開發、實驗技術、系列講座、綜合評述、設計與工藝、經驗介紹、市場預測、產品廣告、知名廠商、設備維護、知識問答等。

　　雜志優秀目錄參考：

　　中國散裂中子源(CSNS)真空系統研制 董海義，宋洪，李琦，楊奇，趙晶晶，黃濤，王鵬程，關玉慧，劉鵬飛，劉佳明，DONG Hai-yi，SONG Hong，LI Qi，YANG Qi，ZHAO Jing-jing，HUANG Tao，WANG Peng-cheng，GUAN Yu-hui，LIU Peng-fei，LIU Jia-ming

　　動態相對法真空標準裝置簡介 國家真空設備質量監督檢驗中心

　　EAST高頻彈丸注入裝置真空系統設計 姚星佳，胡建生，李長征，陳躍，YAO Xing-jia，HU Jian-sheng，LI Chang-zheng，CHEN Yue

　　基于Visual Basic的真空系統計算軟件開發 王莉君，羅陽，華海宇，WANG Li-jun，LUO Yang，HUA Hai-yu

　　太空旅游燃熱點科普教育新突破--510所《載人航天與太空旅游》正式出版 沈陽真空雜志社

　　浮動式渦旋干泵的結構設計與特點 倪詩茂，NI Shi-mao

　　AVS上海薄膜會議

　　基于分子蒸餾原理的金屬銫提純實驗系統研制 馬寅光，李得天，陳江，王驥，黃良育，成大鵬，劉蘇民，MA Yin-guang，LI De-tian，CHEN Jiang，WANG Ji，HUANG Liang-yu，CHENG Da-peng，LIU Su-min

　　中國知網與真空雜志社聯合聲明 中國知網、真空雜志社

　　真空噴射霧化過程中噴嘴口的流動模型計算與數值分析 韓宇，李建昌，HAN Yu，LI Jian-chang

　　大口徑低溫泵之制冷機R65的研制 熊鷹，杜建偉，徐海波，王為民，XIONG Ying，DU Jian-wei，XU Hai-bo，WANG Wei-min

　　真空自耗電弧爐恒熔速控制系統改造 王勃，陳鼎，孫足來，WANG Bo，CHEN Ding，SUN Zu-lai

　　多晶硅鑄錠爐擴容后的安全性分析及安全措施研究 周社柱，王鋒，張桂蕓，王成君，馮宏亮，ZHOU She-zhu，WANG Feng，ZHANG Gui-yun，WANG Cheng-jun，FENG Hong-liang

　　中國農機化投稿：機械電氣設備故障的應急處理

　　摘 要：現代工程的進行離不開機械電氣設備，電氣設備在數年來的發展下愈加機械化與電氣化，極大地提高了工程效率。然而，機械電氣設備在愈加智能化、自動化的同時會出現許多故障，這些故障或多或少地影響到工程的正常進行，引起一定的經濟損失。為了避免因設備故障影響工程實施，相關工作人員必須針對設備故障進行應急處理。該文試探討工程中機械電氣設備的常見故障，包括開關故障、轉子回路的短路故障、啟動電抗器的接地故障，以及分別對應的應急處理措施。

　　關鍵詞：工程機械,電氣設備,設備故障,故障應急處理

　　機械電氣設備的功能隨著科學技術的提高具有越來越高的科技含量，對于企業的生產具有極為重要的意義。然而，或因設備本身設計的缺陷、制造過程中的不足，或因外部環境惡劣、人員操作不當，機械電氣設備會出現影響到設備正常運行的故障，常規維修固然可以最好地保證設備功能正常，但是會耗費較長的時間，企業無法接受停工造成的經濟損失，為此，必須要有應急措施來處理設備故障。

　　真空最新期刊目錄

Sc₂O₃- Y₂O₃- ZrO₂熱障涂層陶瓷材料的微觀結構及力學性能————作者：郭毛毛;謝敏;王志剛;牟仁德;宋希文;張永和;

摘要：為提高傳統YSZ熱障涂層的綜合性能，采用多元稀土氧化物摻雜對其進行改性，利用固相法合成了不同Sc₂O₃、Y₂O₃配比（總摩爾分數為8%）的Sc₂O₃-Y₂O₃-ZrO₂（ScYSZ體系）陶瓷材料，測試分...

工業加速器用C波段小型化高功率多注速調管————作者：衛博;李冬鳳;王加松;李闖;王剛;

摘要：小型化高功率多注速調管是無損檢測、醫療及工業輻照用電子直線加速器的理想功率源。本文簡要介紹了北京真空電子技術研究所研制的一款新型C波段3MW小型化高功率多注速調管，對其采用的同軸多注諧振腔、周期反轉永磁聚焦系統以及大尺寸盒形輸能窗等技術進行了說明。器件測試結果表明，其峰值輸出功率大于3.3MW，平均功率大于6.6kW，質量輕于25kg，可滿足工業加速器的使用要求，在此基礎上可形成輸出功率滿足1～5...

射頻功率對ITO薄膜結構及性能影響的研究————作者：孫冰成;張賢旺;張健;

摘要：使用射頻（RF）磁控濺射技術，在耐高溫石英玻璃基底上制備了氧化銦錫（ITO）透明導電氧化物薄膜，旨在優化其光電特性。通過系統調控濺射功率變量，深入剖析了該參數對ITO薄膜質量及光電性能的影響機理，之后又對薄膜進行退火處理，探究了退火前后薄膜性能的變化。結果表明：隨著濺射功率的增加，ITO薄膜的可見光平均透過率呈現遞減趨勢，而薄膜的片電阻呈現先下降后上升再下降的趨勢；當濺射功率為120 W且經過30...

新型材料瓷磚粘合劑真空穩定狀態下制備與性能研究————作者：盧國享;王中荔;

摘要：為確保瓷磚粘合劑制備過程中的穩定性并優化其粘接性能，研究了結合真空技術的新型材料瓷磚粘合劑的制備方法與性能。根據標準瓷磚尺寸制備瓷磚粘合的混凝土表面試塊，并根據室內裝飾施工場景為其涂刷防水材料。對鄰苯二甲酸氫鉀和甲苯二異氰酸酯進行真空合成，制備瓷磚粘合劑預聚物。通過邁克爾加成反應使粘合劑預聚物改性，降低其生物毒性。利用真空干燥箱對改性粘合劑預聚物進行干燥處理，調控干燥過程，獲得粘合劑初產物。利用真...

真空時效工藝對ZG0Cr17Ni4Cu3Nb和0Cr17Ni4Cu4Nb硬度與組織的影響————作者：王蔓;戰春鳴;施國梅;王哲;

摘要：對ZG0Cr17Ni4Cu3Nb和0Cr17Ni4Cu4Nb不銹鋼進行真空時效處理，系統分析了不同時效溫度（540～620℃）對其顯微組織及力學性能的影響機制。結果表明：隨著時效溫度的升高，兩種材料的硬度均呈現下降趨勢。在相同時效工藝下，0Cr17Ni4Cu4Nb的硬度優于ZG0Cr17Ni4Cu3Nb。時效溫度升高導致淬火馬氏體基體發生回復與再結晶，促使逆轉變奧氏體生成并擴展，進而提升了殘余奧氏...

射頻等離子體去膠及表面清洗工藝技術研究————作者：田文娟;賀曉彬;焦斌斌;

摘要：簡要介紹了等離子去膠和清洗的化學、物理變化過程；系統分析了決定去膠效果和去膠均勻性的因素，并給出了相應的方案和最優參數匹配原理，通過實驗研究了不同工藝條件下微米級及納米級Ar-F光刻膠的最優去除工藝參數；探討了等離子體清洗反應原理、工藝過程，以及等離子體清洗在材料表面改性方面的應用

用于機匣類鑄件的大型真空精密鑄造爐————作者：宋靜思;賈石;張增海;趙帥;陳久強;李秀章;張哲魁;

摘要：隨著我國商用航空發動機產業不斷發展，大尺寸機匣鑄件的需求日益增加。面臨復雜的國際環境，大型真空感應精密鑄造爐作為生產大尺寸機匣的核心設備必須擺脫進口依賴。本文首先深入分析了大型真空精密鑄造爐的市場情況和技術現狀，然后介紹了一種國產新型大型真空精密鑄造爐的技術特點及其與國外產品的對比情況，最后簡要分析了大型真空精密鑄造爐未來的發展前景

熱室內真空裝置設計研究————作者：張志平;許忠政;姜正鶴;張黎源;

摘要：在核工業領域，真空技術被廣泛應用。在處理含有放射性的有毒有害物質時，真空裝置安裝在熱室內，操作與維修需尤為謹慎。為了實現真空裝置的有效運行、便捷維護以及提高真空裝置的可靠性，對其進行適應性設計顯得尤為重要。本文基于熱室的基礎背景，介紹了可以遠程操作的真空裝置自動平移門、在熱室外遠距離布置的真空系統、金屬真空密封技術、可遠程更換的電機結構和耐輻照材料選型等關鍵要素的設計要點，為同類真空裝置的設計提供...

磷對鎳基高溫合金鑄態組織和力學性能的影響————作者：陳明;李相材;張曉敏;黃爍;王沖;胡軍;

摘要：采用真空感應熔煉和保護氣氛電渣重熔工藝制備了一系列不同磷（P）含量的鑄態高溫合金。通過光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡、電子探針、維氏硬度計和拉伸試驗機等，系統地分析了P元素對合金微觀組織和力學性能的影響。結果表明，不同P含量下鑄態合金的晶粒組織和γ'相無顯著變化；隨著P含量的增加，合金晶界處碳化物密度增加，且碳化物的形態從點狀轉變為短棒狀；P元素在晶界偏聚使得晶界能降低，碳化物臨界形核尺寸減小，因而促...

PIAD成膜法的智能DLC薄膜——在燃料電池金屬雙極板領域的應用————作者：緒方潔;鈴木泰雄;畢婷婷;

摘要：介紹了等離子注入成膜（PIAD）方式的原理和特征，即通過高頻放電使原料氣體離化而生成離子，然后將其注入到施有高壓脈沖電壓的基材中。描述了用PIAD方式成膜的類金剛石（DLC）薄膜的特征和應用案例，結果表明PIAD方式可以通過脈沖電壓和其他成膜參數控制DLC薄膜中sp2結構石墨層以及sp3結構金剛石層的生長，因此可以制備出具有耐腐蝕性和導電性功能的DLC薄膜。重點介紹了關于PIAD方式功能性DLC薄...

方形電子束熔煉爐真空腔體設計研究————作者：宋濤;張柏誠;姜正鶴;張黎源;

摘要：針對方形電子束熔煉爐真空腔體壁厚與加強筋選型設計困難的現狀，提出了一套適用于方形電子束熔煉爐真空腔體的設計方法。首先確定爐體材料，然后根據法蘭、開孔及抽氣孔等孔位布置加強筋，以矩形加強筋為例，詳細討論了承載水壓、氣壓條件下方形真空容器壁厚、加強筋之間板材所受最大彎矩、慣性矩、抗彎截面系數以及最大切應力的計算方法，最后通過仿真實驗對設計的電子束熔煉爐真空腔體進行了驗證。結果表明，所設計的電子束熔煉爐...

用于氧化鋯模擬種植體表面親水改性的新型等離子體處理系統————作者：蔡嘉寧;余德平;鞏曉菲;薛嘉清;張佳誠;鄭錚;陳文川;

摘要：氧化鋯種植體因其優異的生物學及美學性能，在種植牙手術中應用愈發廣泛。為進一步提升氧化鋯種植體的種植成功率與骨結合率，提出了一種用于氧化鋯模擬種植體復雜形狀表面親水改性的等離子體處理系統。該系統利用納米銀線制備作為同軸介質阻擋放電的外透明電極，將氧化鋯種植體置于低壓腔內軸電極上方，可在1 min內處理后顯著提升種植體表面親水性。通過實驗驗證了系統可靠性與處理的有效性，并確定了系統最優處理參數，處理時...

基于ANSYS的真空燒結爐保溫層參數優化————作者：王元暉;周明旭;李建昌;

摘要：針對某型真空燒結爐的保溫性能和爐內溫度均勻性問題，利用傳熱學理論模型對其保溫層參數進行優化，采用Ansys穩態熱分析法研究了保溫層內側石墨板厚度、外側碳氈厚度及保溫層與加熱體距離對真空爐溫度場的影響。結果表明：增加碳氈厚度可提高爐內保溫性能及溫度均勻性，但當厚度超過150 mm時進一步提升效果變得微弱；保溫層與加熱體距離為80 mm時，保溫層內側溫度最高，達到1 008.5℃，相較于原始方案100...

基于CNN-RNN的氦檢漏設備故障診斷研究————作者：瞿騎龍;段垚;張治軍;艾士義;

摘要：氦檢漏設備在工業生產中廣泛應用于檢測微小泄漏，確保系統的安全性和可靠性。然而，由于設備的復雜性和工作環境的多變性，故障診斷變得尤為關鍵。本文提出了一種基于神經網絡的氦檢漏設備故障診斷方法，旨在提高故障檢測的準確性和效率。首先，對設備運行數據進行采集和預處理，輸入卷積神經網絡（CNN）提取有效的特征向量并降維。然后，將特征輸入循環神經網絡（RNN），捕捉數據的時序依賴關系。最后由激活函數輸出故障分類...

真空感應磁懸浮熔煉法制備BT22合金組織與性能研究————作者：李鴻舉;劉時兵;劉田雨;趙軍;史昆;李重陽;李昕祺;

摘要：BT22(Ti-5Al-5Mo-5V-1Cr-1Fe)合金是由蘇聯航空材料研究院于20世紀70年代研發的高強度鈦合金材料，該合金因具有良好的強度、韌性和淬透性被廣泛應用于航空航天領域。因熔融態鈦合金極易與多種耐火材料和空氣中的氧氣、氮氣等發生化學反應，所以熔煉鈦合金必須在真空或者惰性氣體（如氬氣、氦氣）氛圍下進行。通過真空感應磁懸浮熔煉法制備的BT22合金，成分均勻，鑄態和熱等靜壓態組織均為典型的...

大型并聯真空系統抽氣性能試驗評估方法研究————作者：孟少飛;孫常新;李宇辰;張詣;龐旭東;

摘要：多臺套真空泵并聯系統的總抽氣量通常低于單泵額定抽氣量的總和，這對真空系統的精細化設計帶來一定的困難。針對該問題，提出了一種大型真空泵并聯抽氣性能試驗評估方法。首先對多泵并聯工況下真空系統的總體抽氣性能進行數學建模，對多泵并聯系統總抽氣量和單泵抽氣量降幅兩個重要指標進行分析；其次，對多泵并聯試驗工程方法進行研究，探索了基于小系統試驗數據的大型并聯系統總抽氣量預估方法，在此基礎上確定了試驗模型及測量方...

真空爐加熱元件設計與研究————作者：景來興;李建昌;

摘要：真空爐加熱元件直接影響爐溫均勻性與加熱效率，是真空爐設計與研究的重點之一。本文從加熱元件的材料與形狀、功率計算方法、接電方式、尺寸與數量選擇、安裝布局及形式等方面，綜述了近年來真空爐加熱元件的國內外研究進展。首先，歸納了加熱元件材料類型、形狀、適用氣氛與真空度；其次，梳理了接電電壓與接電方式的選擇方法，對比了七種經驗計算功率方法的適用條件；最后，總結了加熱元件尺寸設計與不同爐型安裝布局形式。為滿足...

不同氣體和存儲介質對離子束活化時效性的影響————作者：鐘利;金凡亞;

摘要：為了研究PEEK/GF聚合物材料在離子束活化后的時效性機理，用氬氣（Ar）、氫氣(H₂)、氧氣(O₂)以及氫氣與氮氣的混合氣體(H₂+N₂)對其進行離子束活化處理，并分別于大氣、純水、無水乙醇和真空等不同介質中存儲1～90 d，通過材料表面紅外光譜測試和表面接觸角測試分析了材料表面特性的時效性變化規律，在此基礎...

不同粘結層對Yb₂O₃改性Gd₂Zr₂O₇熱障涂層的熱沖擊影響行為————作者：李婷玥;王鑫;甄真;李娜;許振華;

摘要：(Yb_0.1Gd_0.9)₂Zr₂O₇（YbGdZrO）稀土復合氧化物是一類適用于1 200℃以上應用的新型熱障涂層（TBCs）材料。采用電子束物理氣相沉積（EB-PVD）工藝在NiCoCrAlYHf及（Ni,Pt）Al粘結層表面分別沉積YbGdZrO陶瓷層，制備出兩種不同粘結層體系的TBC...

退火態鋼質基體表面TiN和TiAlN涂層的結合性能與耐磨性研究————作者：趙興忠;

摘要：采用陰極電弧離子鍍技術在退火態合金鋼表面沉積TiN和TiAlN涂層，使用掃描電鏡和X射線衍射儀分析了所得涂層的結構、成分與物相組成，利用顯微維氏硬度計測試了涂層的硬度，通過壓痕法評價了涂層的結合性能，并采用往復式球-盤摩擦磨損試驗測試了涂層的耐磨性能。結果表明，TiN和TiAlN兩種涂層表面均平整，但TiAlN涂層表面有明顯“液滴”缺陷。退火態合金鋼表面TiN和TiAlN涂層均發生了擇優生長，其中...

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