【雜志簡介】

　　《壓電與聲光》雜志是中國電子科技集團公司(電子工業部)第二十六研究所主辦的學術性與技術性綜合科技刊物，為中國期刊方陣期刊、全國優秀科技期刊，全國中文核心期刊，Scopus數據庫、中國科學引文數據庫等國內外權威數據庫收錄期刊。本刊為16開，雙月刊，每逢雙月出版，國內外公開發行。

　　本雜志是全國優秀科技期刊;全國中文核心期刊;Scopus數據庫收錄期刊;中國科學引文數據庫收錄期刊;中國科技論文統計源期刊;《中國學術期刊(光盤版)》、《中國期刊網》全文收錄期刊。

　　主要報道國內外在壓電、鐵電、聲電、聲光、電光等方面的功能器件和電子陶瓷、單晶、薄膜材料的新技術、新方法、新工藝、新產品、新動向。主要欄目有：聲表面波技術;聲光與光纖技術;壓電及其他功能器件;單晶、薄膜及其他功能材料;實驗技術與測試方法等。

　　本雜志涉及內容廣泛，主要包括聲表面波技術，慣性技術，電子陶瓷技術，聲光與光電子技術，傳感器技術，微米/納米及MEMS儀表，晶體、薄膜等。讀者對象主要是上述專業范圍內從事科學研究、產品設計、生產制造的科技人員、管理人員、技術工人和相關專業的大專院校師生以及電子技術領域的工程技術人員。

　　【收錄情況】

　　國家新聞出版總署收錄

　　先后獲全國，部，省市級18次優秀科技期刊獎

　　全國優秀科技期刊

　　全國中文核心期刊

　　Scopus數據庫收錄期刊

　　中國科學引文數據庫收錄期刊

　　中國科技論文統計源期刊

　　《中國學術期刊(光盤版)》

　　《中國期刊網》全文收錄期刊

　　【欄目設置】

　　要欄目有：聲表面波技術;聲光與光纖技術;壓電及其他功能器件;單晶、薄膜及其他功能材料;實驗技術與測試方法等。

　　雜志優秀目錄參考：

　　高可靠性、高基頻及小延時晶體濾波器 彭勝春，陽皓，周哲，楊莉，PENG Shengchun，YANG Hao，ZHOU Zhe，YANG Li

　　換能器匹配層參數優化方法的研究 葉振洋，吳浩東，YE Zhenyang，WU Haodong

　　電極對薄膜體聲波諧振器性能的影響 焦向全，張睿，馬晉毅，杜波，鐘慧，石玉，JIAO Xiangquan，ZHANG Rui，MA Jinyi，DU Bo，ZHONG Hui，SHI Yu

　　36°YX-LiTaO3/SiO2結構Love波氣體傳感器研究 陳桂，王文，謝曉，何世堂，CHEN Gui，WANG Wen，XIE Xiao，HE Shitang

　　低損耗、高矩形度聲表濾波器設計研究 金劍，蔣欣，鄢秋娟，王嵐，蔣世義，陳彥光，楊賢春，JIN Jian，JIANG Xin，YAN Qiujuan，WANG Lan，JIANG Shiyi，CHEN Yanguang，YANG Xianchun

　　半電極含金屬芯壓電纖維陣列研究 汪小華，張曉明，陳池來，WANG Xiaohua，ZHANG Xiaoming，CHEN Chilai

　　慣性系下捷聯慣導系統最優兩位置對準 高偉，葉攀，白紅美，許偉通，GAO Wei，YE Pan，BAI Hongmei，XU Weitong

　　小周期壓電均勻化常數正則性分析與模擬 鄧明香，馮永平，DENG Mingxiang，FENG Yongping

　　PBP壓電雙晶片驅動器力學特性研究 胡凱明，文立華，李雙，HU Kaiming，WEN Lihua，LI Shuang

　　新型曲面換能器陣指向性研究 宋蕊，馮怡斯，張明，SONG Rui，FENG Yisi，ZHANG Ming

　　數字調諧LC帶通濾波器設計與實現 肖琴，XIAO Qin

　　2.4 GHz石英窄帶低損耗聲表面橫波諧振濾波器 周衛，劉善群，陳峻，邵靜，劉積學，吳燕，朱明，賴彬，喻衛兵

　　基于四維切片圖的相控陣超聲輻射聲場研究 錢雪微，王召巴，趙霞，陳友興，QIAN Xuewei，WANG Zhaoba，ZHAO Xia，CHEN Youxing

　　一種硅微機械陀螺制造方法研究 趙軼卓，ZHAO Yizhuo

　　電力技術論文發表：數字可調直流穩壓電源設計

　　摘 要：對所有電子產品而言，電源是其不可缺少的“心臟”。隨著電子技術的發展，對電源性能要求越來越高，不僅要求其直流穩定，更對其電壓范圍的可調與精度有了更高的要求。文章在基于單片機技術基礎上設計了一個數字可調直流穩壓電源。該電源的硬件電路是由六個單元模塊組成，采用單片機AT89C52作為處理計算核心，完成外部調節與控制，實現了輸出電壓范圍數字可調、可擴展的，精度為0.01伏特，并且具有一定負載功能的直流穩壓電源的設計，該電源系統具有一定的市場價值與推廣價值。

　　關鍵詞：直流穩壓電源,數字可調,STC89C52RC,LM317

　　1 概述

　　隨著電子技術的發展，人們對電源性能的要求越來越高，不僅要求電源輸出直流穩定，更對其輸出電壓范圍的可調性與精度都要求甚高。相對于模擬可調，數字可調更加精確、便捷。故文章設計了一個數字可調直流穩壓電源，其具有精度0.01V的步進調制、范圍為1.25V-10.00V(可擴展)的直流電壓輸出、輸出誤差較小且具有帶負載和數碼顯示功能等特點。

　　壓電與聲光最新期刊目錄

一種低頻高靈敏度壓電MEMS聲接收器設計————作者：王登攀;黃晶;趙德鋒;王飛;王露;劉文怡;苗晉威;張立宇;袁宇鵬;胡義東;

摘要：為了提高低頻段的靈敏度,基于ScAlN薄膜設計了一種開縫式低頻高靈敏度MEMS聲傳感器結構,并分析了開縫數量對諧振頻率和電壓輸出的影響規律。制作微機電系統(MEMS)聲接收器樣品,當諧振頻率為29.3kHz時,在20～30kHz內測得其最高靈敏度高于-60dB,說明所提出的開縫式結構能在低頻段實現高靈敏度

應用于5G的三頻MIMO天線設計————作者：周籽怡;楊志鵬;杜成珠;

摘要：隨著5G通信技術的商用和衛星通信的快速發展及技術創新,設計了一種使用“X”型隔離結構的三頻二元多輸入多輸出(MIMO)天線。天線由兩個倒置且平行放置的單元輻射貼片組成,并通過在其正面、背面加載隔離枝節來提高天線的隔離度,同時在天線背面采用開槽技術來改善天線的帶寬。天線整體尺寸僅有37 mm×25 mm×0.8 mm,實測工作頻段為4.3～5.8 GHz、8.02～9.3 GHz和12.2～14.8...

ICP刻蝕Mo側壁角度及刻蝕速率的研究————作者：田本朗;梁柳洪;何成勇;羅淦;郭耀祖;米佳;

摘要：采用基于Cl基氣體的電感耦合等離子體(ICP)干法刻蝕設備對金屬Mo薄膜進行刻蝕,研究了刻蝕條件對側壁角度以及刻蝕速率的控制。通過調節ICP干法刻蝕過程中射頻源功率、ICP離子源功率、腔體壓力、混合氣體流量比例等工藝參數,實現了14.8°～85.0°圖形側壁傾角,表明圖形側壁角度可在大范圍內得到控制,刻蝕速率可在148～232nm/min調節,為薄膜體聲波諧振器(FBAR)器件研制工藝打下良好基礎...

壓電超聲換能器金屬外殼切削工藝研究————作者：李亞飛;董姝;李瑞峰;鮮曉軍;唐盤良;馬晉毅;

摘要：為滿足金屬導電物體探測的要求,采用機械方法切削壓電超聲換能器金屬外殼以形成0.10 mm絕緣臺階。借助有限元仿真軟件ANSYS/LS DYNA分析發現,徑向切削過程中陶瓷片所受應力為56.35 MPa,遠小于軸向切削過程中陶瓷片所受應力216.25 MPa,故在分段疊加切削過程中陶瓷片所受的應力變形明顯更小。結合理論分析和切削試驗制定了3次疊加徑向進刀工藝,優化了金屬殘留毛刺去除方法,解決了切削過...

SAW芯片的質量控制與可靠性測試方法的研究————作者：艾毅智;楊怡;陳虹羽;

摘要：隨著通信設備向便攜化、輕薄化發展,對SAW芯片的小體積、高性能需求逐漸增加,為確保產品交付質量,需要在芯片研發、生產過程中開展有效的質量控制和可靠性測試。通過對SAW芯片故障模式及影響的分析,找出了設計和生產過程存在的風險點,制定質量控制措施并研究可靠性測試方法,提升了芯片合格率,進而驗證了質量控制措施和可靠性測試方法的有效性,在業內具有一定的借鑒意義

摻鈰釓鎵鋁石榴石閃爍晶體輻照效應研究————作者：韓恒利;王強;萬前銀;屈菁菁;安康;陳研;肖雄;任科靜;丁雨憧;

摘要：使用⁶⁰Co放射源對摻鈰釓鎵鋁石榴石（Ce:GAGG）閃爍晶體樣品進行輻照,劑量率為3×10～5 Rad/h,輻照總劑量分別為10～6Rad、10～7 Rad和10～8 Rad。通過測試輻照前后C e:GAGG閃爍晶體樣品的透過率、相對光輸出、能量分辨率及衰減時間來研究輻照效應。實驗結果表明,經過10～8Rad輻照,晶體的透過率在450～900 nm波段無明顯變化,在320 ...

一種射頻SiP模組鏈路快速驗證方法研究————作者：崔夢琦;余懷強;張磊;王璽;代春玥;

摘要：針對射頻SiP模組設計周期長、成本高、兼容性差等問題,提出了一種射頻SiP模組鏈路快速驗證方法。該方法將射頻SiP模組內的射頻器件分裝于不同積木塊中,再將積木塊拼接形成有目標電路功能的驗證鏈路。通過對該鏈路進行測試,可快速驗證射頻SiP模組設計是否達標。為實現積木塊間良好互連,設計了高頻連接橋壓接結構。測試結果經去嵌計算,得到18GHz內插入損耗最大值為1.34dB。通過搭建與測試二次變頻射頻Si...

PMUT集成Helmholtz諧振腔對測距性能產生的影響分析————作者：劉浩杰;塔桂峰;姚術濤;李加東;苗斌;商文玲;馮昌坤;陶金燕;

摘要：壓電微機械超聲換能器(PMUT)是超聲測距領域的重要傳感器件,增強PMUT的測距性能對促進工程化應用具有重要意義�；�于Helmholtz諧振腔體的吸聲和擴聲特性,設計了吸收PMUT背部聲波的腔體結構及正向擴聲的喇叭口結構。實驗結果表明,在2m距離處,集成Helmholtz諧振腔體的PMUT在超聲信號幅值上有顯著提升,達到321.13mV,相較于常規貼片薄膜下的腔體結構,信號幅度增加了90.5mV,...

多層PZT陶瓷自熱溫度影響因素分析————作者：宜亞麗;曠慶文;陳美宇;秦越;韓雪艷;褚祥誠;金賀榮;

摘要：多層PZT陶瓷作為壓電驅動器的核心組件,其壓電性能受自熱溫度影響,在高交變電壓作用下易發生失效。該文從交變電壓特性、陶瓷多層結構角度對PZT陶瓷自熱溫度作用規律展開研究。首先基于掃描電鏡下陶瓷斷面結構形貌,建立了多層PZT陶瓷細觀結構仿真模型;然后搭建了溫度測量實驗平臺,開展陶瓷表面自熱溫度測量實驗進行驗證;最后分析了交變電壓幅值、頻率特性和陶瓷壓電層、死層厚度對陶瓷表面自熱溫度的作用機理。結果表...

基于GRU-NN預測模型的壓電作動器MPC-KAN控制方法————作者：郭辰星;李自成;徐瑞瑞;

摘要：為了提高壓電作動器(PEAs)的軌跡跟蹤性能,提出了一種基于門控遞歸單元(GRU)神經網絡(NN)預測模型的Kolmogorov-Arnold網絡前饋模型預測控制(MPC-KAN)。與神經網絡逆模型控制不同,該方法使用GRU-NN正向建模,并根據模型預測結果調整模型預測控制(MPC)的輸出。首先,根據線性化模型選擇GRU-NN的訓練輸入特征,并訓練該網絡。然后,為了提高優化效果和縮短優化時間,將麻...

基于差分測距的高精度UWB定位算法————作者：羅忠渝;湯杰友;趙忠華;

摘要：針對室內環境存在多種誤差,導致超寬帶(UWB)定位精度受限、穩定性較弱的問題,提出了基于差分測距的擴展卡爾曼濾波算法(DREKF)。該算法對UWB定位系統的通信協議進行了改進,通過引入差分測距,在每次定位時對各基站的誤差模型進行更新,實時校正測距誤差,并通過改進的擴展卡爾曼濾波算法對標簽進行定位,提升定位精度和穩定性。實驗結果表明,DREKF算法在視距情況下的水平定位精度達到了3 cm,在非視距情...

面向無人機載微慣導的一種改進自適應傳遞對準算法————作者：程耀強;楊鵬翔;孫銘垚;趙志遠;

摘要：傳遞對準是微慣導應用于精確制導武器的關鍵技術,關系著機載武器系統的作戰效能。該文研究了微慣導在騰盾無人機上掛飛的傳遞對準方案。首先基于“速度+姿態”匹配傳遞對準方案,提出了一種改進自適應Kalman濾波方法,將桿臂效應和數據延時分別進行在線補償和實時估計。然后基于騰盾無人機平臺進行算法掛飛驗證,與經典Kalman濾波方法相比,改進算法可有效提升傳遞對準的性能,滿足航向角對準精度為0.65°(1σ)...

MCP-SSHI接口電路實現多通道寬頻壓電能量的高效提取————作者：李繼禎;胡寧;吉振峰;張詩琪;趙晨曦;周美彤;吳良科;牟笑靜;

摘要：隨著物聯網和智能系統的快速發展,對傳感器網絡中能量采集技術的需求不斷增加。針對多通道寬頻壓電能量信號特征差異大、能量提取效率低的問題,提出了一種適用于弱耦合環境的多通道并聯同步開關電感(MCP-SSHI)接口電路。該電路保持了高模塊的拓展性和結構的簡潔性,同時還具備處理任意相位關系(0～2π)多通道輸入電壓的能力。測試結果表明,在處理六路壓電能量收集器(PEH)信號時,MCP-SSHI電路可高效提...

基于CS-PVP K30復合物薄膜基的QCM濕度傳感器————作者：王艷;陶金;羅健;陳思毅;彭宏;王云霄;尹澤宇;

摘要：石英晶體微天平(QCM)作為納克級精度傳感器,通過在敏感區添加濕敏材料,能夠在氣相條件下高精度檢測濕度,具有檢測范圍廣、成本低和制作簡單的優點。為提升濕敏材料的性能,擴展基于QCM的濕度傳感器的應用,構建了基于殼聚糖(CS)基底,聚乙烯吡咯烷酮(PVP)成膜機理的復合物薄膜基的QCM濕度傳感器。實驗證明該傳感器響應、恢復時間分別為13 s、14 s,在相對濕度11%～97%檢測范圍內的靈敏度達到5...

微生物聚焦的微流控芯片研究————作者：袁宇鵬;蔣卓雅;李順波;龍帥;李小飛;

摘要：針對流式細胞儀中聚焦細菌、酵母菌等小直徑微生物困難的問題,開展微生物聚焦的微流控芯片研究。在傳統直通道的基礎上設計新型方形通道,建立方形通道微流控芯片的有限元模型,通過流體與運動軌跡的有限元仿真實現對通道寬度、長度等結構參數的優化設計。通道寬度為20μm、單位長度為80μm時,粒子仿真運動范圍為通道的63%。提出了基于硅基襯底的微流控芯片制備方法,制備出方形通道微流控芯片實物。搭建了流式細胞儀原理...

釹摻雜BSPT基高溫壓電陶瓷的性能研究————作者：涂浩;官尚義;史偉;陳強;邢潔;

摘要：采用傳統固相反應法制備了Nd摻雜的BiScO₃-PbTiO₃（BSPT）高溫壓電陶瓷。在確定BSPT準同型相界的基礎上,系統研究了Nd摻雜對其結構和性能的影響。結果表明,通過Nd摻雜可調控BSPT陶瓷相結構和疇結構,進而有效提高其壓電性能和溫度穩定性。當BS摻雜含量（摩爾分數）為37%,Nd摻雜濃度（摩爾分數）為3.0%時,陶瓷具有最佳的壓電性能,其壓電...

TC-SAW SiO₂ 溫補層性能研究————作者：賀貞;李燕;田本朗;馬晉毅;肖強;梁柳洪;

摘要：為制備高性能的TC-SAW SiO₂ 溫補層,分別采用電子束蒸發鍍膜和反應磁控濺射制備 SiO₂ 薄膜,研究兩種制備工藝對 SiO₂ 薄膜致密性、表面粗糙度及彈性模量的影響。采用掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡、X線衍射儀對 SiO₂ 薄膜的形貌和晶體結構進行分析。采用橢偏儀測試薄膜折射率及腐蝕后的膜厚變化量,并通...

融合蘭姆波損傷指數的碳纖維板分層缺陷成像方法————作者：巫軼倫;馮搏;

摘要：蘭姆(Lamb)波在結構健康監測中具有潛在的應用價值,但有關分層損傷的研究大多局限于分層定位和精度提高,對分層尺寸測量的研究較少。研究了碳纖維復合材料板中分層缺陷尺寸對不同波長Lamb波的影響。通過有限元模擬研究了線性調頻Lamb波A0模態與不同分層尺寸之間的相互作用,發現當波長大于分層尺寸時,擾動程度隨分層尺寸的增大而單調增大,當波長小于分層尺寸時,擾動程度呈振蕩狀態的現象。借助該現象提出一種碳...

一種BGA封裝的低損耗毫米波前端模組設計————作者：蒲星明;趙怡;董剛;韓世宏;范齊升;余懷強;

摘要：針對小型化、低成本化、集成化T/R組件的需求,提出了一種工作在30～40 GHz的毫米波前端模組。該模組采用高溫共燒陶瓷(HTCC)基板和球柵陣列(BGA)封裝,實現了4個收發通道的高密度集成,具備信號放大、功率分配和幅相控制等功能。通過對該模組毫米波信號垂直互連結構的仿真優化,實現了該結構在毫米波頻段的低損耗信號傳輸。設計制作PCB測試板對該垂直互連結構進行測試驗證,經計算得到該垂直互連結構最高...

面向5G應用的超寬帶MIMO天線設計————作者：王致遠;楊�；�;杜成珠;魏書榮;

摘要：針對目前國內5G中頻段的寬帶覆蓋問題以及面向未來6G系統在Sub-7 GHz頻段的應用,設計了一款可覆蓋5G頻段的共面波導(CPW)饋電超寬帶高隔離多輸入多輸出(MIMO)天線。單元天線以單個橢圓貼片為基礎,通過添加三叉戟結構和切角操作實現了天線的超寬帶特性。天線含有2個單元槽天線,可用于2×2的MIMO天線陣列,天線尺寸為118 mm×66 mm×0.8 mm。兩個單元天線采用平行放置模式,且兩...

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