真空科學與技術學報
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《真空科學與技術學報》
關注()- 期刊周期：月刊
- 期刊級別：國家級
- 國內統一刊號：11-5177/TB
- 國際標準刊號：1672-7126
- 主辦單位：中國真空學會
- 主管單位：中國科學技術協會
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【雜志簡介】
《真空科學與技術學報》主要刊登真空技術、表面與界面物理與化學、表面分析、電子材料、薄膜物理與工藝、真空冶金、等離子體科學與工藝等。
主要欄目有：學術論文、綜述評論、技術交流、工業技術、科研動態與學術活動、快報等。
【收錄情況】
國家新聞出版總署收錄 國外數據庫收錄
美國化學文摘
【欄目設置】
主要欄目有：學術論文、綜述評論、技術交流、工業技術、科研動態與學術活動、快報等。
雜志優秀目錄參考：
容性耦合等離子體腔室放電特性仿真研究 楊旺，劉學平，夏煥雄，向東，牟鵬，Yang Wang，Liu Xueping，Xia Huanxiong，Xiang Dong，Mou Peng
用Langmuir探針法標定的發射光譜法診斷等離子體電子密度及分布 陳宗勝，林志丹，時家明，馬麗芳，Chen Zongsheng，Lin Zhidan，Shi Jiaming，Ma Lifang
基于PEM和模糊PI的反應磁控濺射非線性控制方法 張軍，葉敏，張新榮，張道配，Zhang Jun，Ye Min，Zhang Xinrong，Zhang Daopei
應用于等離子體破裂防護的雙渦流驅動快速充氣閥的研制 莊會東，張曉東，Zhuang Huidong，Zhuang Xiaodong
多模式旋轉磁場對電弧離子鍍弧斑放電的影響分析 郎文昌，高斌，杜昊，肖金泉，謝婷婷，王向紅，Lang Wenchang，Gao Bin，Du Hao，Xiao Jinquan，Xie Tingting，Wang Xianghong
高碳錳鐵預氧化—真空脫碳制備低碳錳鐵熱力學分析及實驗研究 徐寶強，馬永博，楊斌，劉大春，Xu Baoqiang，Ma Yongbo，Yang Bin，Liu Dachun
TiO2真空碳熱反應及可溶性TiO陽極電解過程研究 趙坤，王耀武，陳昪，李應龍，馮乃祥，Zhao Kun，Wang Yaowu，Chen Bian，Li Yinglong，Feng Naixiang
氣相合金化制備鎂鋅二元合金的研究 牛立斌，許臻，彭建洪，王曉剛，樊子民，Niu Libin，Xu Zhen，Peng Jianhong，Wang Xiaogang，Fan Zimin
氧化鋁真空碳熱還原氯化歧化過程中二氯化鋁行為研究 盧勇，周岳珍，陳秀敏，舒凱，高騰飛，郁青春，劉大春，楊斌，徐寶強
磁控濺射制備Er3+摻雜Al2O3薄膜的上轉換發光特性 王俊，毛鑫光，沈杰，Wang Jun，Mao Xinguang，Shen Jie
Ti6Al4V磁控濺射沉積Ti-Ag-(N)薄膜及其抗菌性的研究 郭楊陽，田偉紅，黃曉波，張翔宇，李軒鵬，范愛蘭，唐賓，劉小萍
真空蒸鍍Ag2O/HDPE膜對奶酪的保鮮性研究 李亞娜，徐偉民，張國全，Li Yana，Xu Weimin，Zhang Guoquan
N離子注入對TiN薄膜的組織及性能的影響 馮軍，金凡亞，童洪輝，但敏，沈麗如，陳美艷，鄧雉，賴新春
冶金類評職稱投稿：利用尾礦廢石和鋼渣制備無熟料早強型 C30混凝土
摘 要：研究利用鋼渣、礦渣、脫硫石膏作膠凝材料，北京密云地區鐵尾礦廢石及廢砂作粗細骨料制備無熟料早強型C30混凝土。確定鋼渣、礦渣超細粉的最佳粉磨時間，試驗得出膠凝材料的最佳配合比。使用SMФ500×500型小型球磨機對鋼渣、礦渣、脫硫石膏進行機械粉磨，鋼渣比表面積達到 630 m2/kg，礦渣比表面積達到580 m2/kg，脫硫石膏粉磨25min。通過膠凝材料配合比的確定實驗得出最優配方為：膠凝材料中鋼渣粉占28%，礦渣粉占60%，脫硫石膏占12%的配方最優。在標準養護條件下，所制備混凝土試塊早期強度較高，力學性能符合C30混凝土的要求。借助XRD和SEM分析了鋼渣-礦渣-脫硫石膏基膠凝材料的水化產物，探討該體系的水化反應機理。該膠凝材料的水化產物主要是水化硅酸鈣(C-S-H)、鈣礬石(AFt)、二水石膏(CaSO4・2H2O)、萊粒硅鈣石[Ca5(SO4)2(OH)2]。體系的水化過程主要經歷了鋼渣及礦渣的解體、水化產物的形成和生長、水化產物與未水化產物的凝聚和硬化三個階段。
關鍵詞： 鋼渣,礦渣,脫硫石膏,C30混凝土
真空科學與技術學報最新期刊目錄
制冷機低溫泵冷板陣列仿真分析及結構優化————作者：姚吉愷;王國棟;李恒霖;陳肇璽;
摘要：低溫泵由于其運行穩定、大抽速等特性，廣泛應用于半導體制造、大科學裝置及環模裝備。低溫泵的冷板陣列作為泵送氫氣的主要部件，其結構尺寸對抽氣性能具有重要影響。本研究以G-M制冷機低溫泵為研究對象，基于稀薄氣體動力學理論，對比分析不同冷板層數及直徑對抽氣性能的影響，并根據抽速、降溫時間、工作壽命三個指標篩選最優冷板陣列結構，最后通過熱流耦合方法分析最優冷板陣列結構，對比分析不同G-M制冷機二級冷頭安裝高...
大型低溫測試裝置的冷屏結構設計與研究————作者：吳清浩;楊慶喜;胡銳;徐皓;余清洲;陳肇璽;
摘要：環向場（TF）和極向場（PF）線圈是國際熱核聚變實驗反應堆（International Thermonuclear Experimental Reactor，ITER）的關鍵部件。為了驗證已制造的TF和PF線圈性能是否符合性能標準，需在安裝前于低溫環境中進行低溫超導性能測試。根據TF和PF線圈的結構及測試要求，設計了大型低溫測試裝置。基于該測試裝置的結構設計，采用多層絕熱（MLI）作為冷屏屏蔽外部...
一種適用于(10～105)Pa氣體質譜分析的可控取樣系統的設計————作者：楊傳森;郭宇揚;劉迪;鄭陽陽;盧耀文;王歡;宋春堯;陳俊儒;丁雙;陳千睿;
摘要：為了滿足半導體制造、航天工程等領域對常壓和中低真空氣體取樣的需求，本文設計了一種適用于(10～105)Pa氣體質譜分析的可控取樣系統。系統由真空抽氣模塊、節流取樣模塊、真空測量模塊、溫控模塊和數采與控制模塊組成。通過毛細取樣管和壓電微調閥的兩級壓力可控衰減，結合雙小孔流導元件的抽氣流量控制，系統能夠在不同壓力下穩定采集氣體樣品。實驗驗證表明，該系統能夠在(10～1×10 自由基刻蝕多晶硅及氟原子密度檢測的研究————作者：高遠;李箏;曹勇;桑利軍;劉博文;劉忠偉; 摘要：隨著集成電路特征尺寸的不斷縮小，傳統刻蝕技術在選擇性和物理損傷控制等方面面臨挑戰。自由基刻蝕技術具有高精度、低刻蝕損傷等優點，在微納加工中具有重要應用價值與廣闊的應用前景。本研究利用自由基刻蝕技術，以CF4/O2/He混合氣體為放電氣體，系統研究了放電參數，如輸入功率與氣體流量對多晶硅刻蝕速率和F原子密度的影響。使用Ar作為標定氣體定量測定刻蝕過程中的F... 入口壓力對轉子-徑隙式水力空化反應器空化性能的影響研究————作者：李浩;袁丹丹;羅崇岳;王磊;宋永興;張林華; 摘要：水力空化現象已廣泛應用于工業生產和醫療衛生等多個領域。本文主要研究一種新型轉子-徑隙式水力空化反應器中入口壓力對其空化性能的影響。通過數值模擬，分別計算反應器在入口壓力為0 atm、0.5 atm和1 atm時，空泡體積以及轉子域和定子域空化特性的變化。研究結果表明，隨著入口壓力升高，反應器空化強度逐漸下降。當入口壓力由0 atm增加至0.5 atm和1 atm時，空泡體積分別減少33.3%和49... 束源爐結構及布局對分子束外延薄膜材料均勻性影響的仿真————作者：陶先童;段瑩瑞;李壯壯;宋立媛;楊春章;楊晉;李艷輝;孔金丞;趙俊;姬榮斌;王善力; 摘要：億像素紅外探測器是下一代紅外探測器發展的重要方向，8英寸高均勻碲鎘汞薄膜成為實現該技術的最重要一環。分子束外延系統中束源爐結構及布局是影響分子束外延碲鎘汞薄膜材料組分及厚度均勻性的關鍵因素之一。本文從滿足大尺寸高均勻碲鎘汞外延薄膜材料的要求出發，對束源爐的束流產生和出射分布做了理論分析，模擬計算了束源爐布局和坩堝內源材料狀態對襯底上外延薄膜材料膜厚均勻性的影響。使用多物理場仿真軟件COMSOL，以... 磁懸浮分子泵轉子徑向位移波動抑制機理的研究————作者：溫福強;宋鎧鈺;孫靈豪;劉強;張嘉偉; 摘要：針對高轉速下磁懸浮分子泵徑向位移波動量大極易失穩的問題，提出一種基于磁懸浮分子泵轉子結構抑制其徑向位移波動的方法。以一臺1.5kW，27720r/min高速磁懸浮分子泵為例，建立三維計算模型，利用有限元法對轉子剛體模態、彎曲模態、臨界轉速以及撓性支承進行耦合求解，確定轉子徑向位移波動頻率與轉速間的變化規律，在此基礎上，對磁懸浮分子泵轉子結構變化對其徑向位移波動的影響進行分析研究，揭示影響磁懸浮分子... 基于蒙特卡羅方法的低溫冷阱流導、抽速仿真計算————作者：陸廣寶;楊楊;武義鋒;曾環;王君;鄧家良; 摘要：隨著半導體工藝的快速發展，對分子泵的抽氣性能，特別是抽離水汽的能力提出了更高的需求，這使得搭配分子泵使用的組合型低溫冷阱被廣泛應用。氮氣流導和水汽抽速是衡量低溫冷阱性能的關鍵參數，與其內部冷凝板形狀息息相關。水汽抽速因水分子的強吸附性使得通過實驗測量變得極為困難。在本文中通過蒙特卡羅方法系統地研究了冷凝板大小、冷凝板折邊對低溫冷阱的氮氣流導和水汽抽速性能影響。另外根據模擬結果研發設計了一款低溫冷阱... 合肥光源光束線站新型真空安全聯鎖系統設計————作者：劉群;陳留國;李芳;賈文紅;汪嘯;賀博; 摘要：光束線站真空安全聯鎖是保障同步輻射光源儲存環的運行安全與線站關鍵設備安全的重要系統。文章闡述了合肥光源新建成的金華光束線站真空安全聯鎖系統的最新設計方法。基于新型的高性能可編程控制器PLC（Programmable Logic Controller）和開放的軟件平臺EPICS 7（Experimental Physics and Industrial Control System）分布式控制系統架... 變螺距螺桿真空泵內部工作過程建模與熱力分布規律————作者：孟雨;孫顯彬;喬中濤;尚允坤;張黎明; 摘要：掌握螺桿真空泵內部工作過程是設計高性能螺桿轉子的基礎，本文對變螺距螺桿真空泵工作過程進行了建模分析。首先，基于簡化泄漏通道幾何結構模型，構建了螺桿真空泵泊肅葉流、庫愛特流兩種流動方式下粘滯流、過渡流、分子流三種流態的基于時間的內部泄漏通道級間泄漏模型；然后，基于氣體運輸條件假設，構建了內部吸氣階段、壓縮階段、反沖階段及排氣階段氣體運輸模型；最后基于內部泄漏通道級間泄漏模型和氣體運輸模型，揭示了內部... 陽極層霍爾推力器內坡印亭矢量與能量轉換機制研究————作者：陳滿珍;趙杰;張正浩;唐德禮; 摘要：本文采用三維粒子云網格-蒙特卡洛碰撞（PIC/MCC）算法，從軸向和徑向空間維度，分析穩態時坡印亭矢量分布對陽極層霍爾推力器能量轉換過程的影響機制。坡印亭矢量場強在軸向空間具有梯度分布特征，呈現顯著的空間非均勻性。通過徑向空間的相關性分析發現，電子能量的累積過程不僅受電磁場直接加速的影響，還涉及多種非線性能量傳輸機制。坡印亭矢量場強通過調控電子漂移速度影響離子密度分布，最終形成空間上連續但存在特征... 高加速壽命試驗在裂解源裝置可靠性測試中的應用————作者：陳冬冬;郭維;張朱鋒;謝斌平;高漢超; 摘要：裂解源是超高真空分子束外延（MBE）設備的核心部件，可用于生長諸如GaAs、InP、GaSb等多種III-V族化合物半導體外延材料。由于MBE使用過程中超高真空不易獲取的特點，對裂解源的可靠性有很高的要求。本文探討了分子束外延設備用砷裂解源裝置高應力加速試驗的原理和方法，針對裂解源的特點設計了加速老化試驗方案。根據高溫度應力加速模型，我們確定了裂解源的溫度組合加速因子，設計出相應的試驗任務剖面，并... 基于NS-DSMC方法的質譜光電離源仿真研究————作者：高世俊;黃俊;何子陽;畢海林;王旭迪;劉成園;楊玖重;許鳴皋;潘洋; 摘要：<正>質譜（Mass Spectrometry，MS）技術具有靈敏度高、分析速度快、分析范圍廣等特點，在化學化工、材料、環境和生命科學等領域得到廣泛使用[1–4]。光電離質譜(Photoioniza 非平衡態等離子體催化CO2加氫逆水煤氣反應的實驗研究————作者：李森;趙悅彤;孫康寧;馬婷婷;戴健男; 摘要：本文采用非平衡態等離子體放電技術協同Cu基催化劑的方法，促進CO2加氫逆水煤氣反應低溫高效地進行。實驗對比分析了純催化、純等離子體以及二者協同作用下對CO2轉化性能的影響，重點考察了等離子體放電電壓、氣體流量、CO2和H2的比例、循環水溫度對CO2轉化率、CO選擇性的影響，以及不同條件下的... 基于有限元分析與聲學實驗的夾管式真空界面閥氣動噪聲特性研究————作者：連加俤;李朋飛;陳皇凱;許靜;潘威; 摘要：氣動噪聲是真空界面閥在真空排污系統運行中面臨的一個關鍵問題，在公共場所噪聲顯著影響用戶體驗，減少真空界面閥工作時的氣動噪聲尤為重要。本文圍繞自主設計的夾管式真空界面閥，采用有限元分析（FEA）方法與聲學實驗相結合的方式，全面探究了閥門在不同開度、壓強和結構條件下的噪聲特性。有限元分析采用Proudman寬頻噪聲預測模型及ANSYS Fluent中的FW-H方程求解器實現Lighthill聲類比，實... 基于伴隨優化和正交實驗的蒸汽噴射器結構優化————作者：方凱躍;毛維斌;操正清;張新晨;楊雪龍; 摘要：作為蒸汽噴射器制冷系統（ERS）中的核心組件，蒸汽噴射器的性能對整體系統的運行效果具有重要影響，其性能的優劣直接決定了制冷效率。將伴隨方法應用于噴射器領域，建立了可視化方案對噴射器進行敏感性分析，篩選出關鍵結構參數；通過單因素分析方法確定關鍵結構參數的水平范圍，建立L9(34) 正交表，得出最優結構參數組合；對最優結構參數組合的主噴嘴結構采用伴隨優化方法... 細長管內真空壓力分布的算法研究和工程實踐————作者：陳林;鄧高飛;楊紅;劉偉健;王浩為;羅守庚;白文龍; 摘要：本研究針對細長真空管在實際工況中存在的遠端壓力計算復雜、耗時較長以及管內壓力難以測量等技術難題，采用理論推導、數值模擬與實驗測試相結合的方法，系統研究了細長真空管內的壓力分布規律。結果表明：細長管兩端的壓差與管路的幾何參數相關；且細長真空管內的壓力呈現典型的拋物線分布特征，其中泵口側壓力梯度變化最為顯著；通過縮短管道長度或增大管徑可有效優化管內壓力分布。本研究成果為真空系統的優化設計提供了理論依據... 一種新型大抽速CP1250Xe復合低溫泵————作者：王君;楊楊;曾環;鄧家良;陸廣寶; 摘要：本研究成功設計了一種新型大抽速CP1250Xe復合低溫泵，通過結構優化顯著提高了Xe抽速，并能夠有效抽除N2、H2等常規氣體。實驗結果表明，該低溫泵的Xe抽速高達65000 L/s，對N2和H2的抽速也分別達到了60000 L/s，抽氫容量為150 L。這些成果證實了新型大抽速CP1250Xe復合低溫泵在提升氙... 高功率脈沖磁控濺射制備C:Ni:Cu體系薄膜及其熱分解制備少層石墨烯————作者：李箏;高遠;劉森;桑利軍;王正鐸;劉忠偉; 摘要：石墨烯作為一種先進的功能碳材料得到了廣泛應用，本研究通過對高功率脈沖磁控濺射 （HiPIMS） 技術沉積的C:Ni:Cu體系薄膜的快速熱退火，在300 nm SiO2/Si基底上直接制備石墨烯。研究了C2H2流量、薄膜厚度、工作氣壓、退火溫度、退火時間及退火升溫速率等參數對石墨烯層數和質量的影響，在上述參數分別為2 sccm、48 ... 電子束誘導沉積工藝的優化與簡化————作者：高尚;黃夢詩;肖飛;孫千; 摘要：電子束誘導沉積（EBID）因沉積速率慢、沉積物純度低等缺點，常被限制在IBID工藝前的保護層制備等輔助性工作中。本研究針對工藝的效率提升與流程簡化展開系統研究，重點分析了關鍵工藝參數對沉積速率和效果的影響，并提出了一種基于掃描電鏡縮小框功能的簡化工藝。研究表明，低加速電壓條件下，沉積速率顯著提高；束流與沉積厚度呈線性正相關；短駐留時間有助于獲得更高的沉積速率。通過優化參數，本研究實現EBID沉積效... 相關科技期刊推薦 核心期刊推薦
